“我國現有的大科學裝置基本是圍繞基本粒子、宇宙探測以及由此發(fā)展的各類加速器。但面對二十一世紀科技發(fā)展的需求，圍繞納米領域建設大型科學研究設施，已經成為了不能回避的問題?！痹谌涨罢匍_的以“支撐納米科技發(fā)展的大型基礎科學設施??現狀與展望”為主題的第433次香山科學會議上，與會專家就此問題達成了基本共識。

      集成電路的微小化和納米電子學的飛速發(fā)展，激發(fā)人們在新型納米材料制備、器件加工及封裝測試等領域展開廣泛研究，這就提出來對超常規(guī)的大型科學裝置的急切需求。據了解，目前除了常規(guī)的超凈間加工平臺外，一些國外的先進實驗室，如美國Argonne國家實驗室嘗試性建設了一些真空互聯裝置，歐洲和日本的一些著名大學和研究所也在不斷地加入。

      雖然我國在納米材料方面展開了許多研究，并取得了許多創(chuàng)新性科研和轉化成果。然而，由于對納米器件研究的認識與投入不足，特別是納米加工設施和納米加工技術相對落后，使得我國在這一領域整體的科研和應用水平與發(fā)達國家差距拉大。因此，研制具有高端的材料生長、微納加工、器件封裝測試的強大功能真空互聯系統(tǒng)，成為了急需突破的瓶頸，具有極其重要的戰(zhàn)略意義。

      據本次會議執(zhí)行主席之一、中科院蘇州納米技術與納米仿生研究所楊輝研究員介紹，目前國內多家科研機構正在規(guī)劃、籌建“納米真空互聯綜合實驗站”，其目標是在未來5?10年內，建立一個真空環(huán)境的機械和控制互聯系統(tǒng)，實現無機到有機的材料制備、器件加工與封裝、以及各種極端條件下測試的綜合研究的設施，通過真空互聯解決在材料生長、器件工藝環(huán)節(jié)、測試分析以及樣品轉移中水氧等雜質污染問題；提供本征條件下材料、器件結構及其性能關系的尖端科學研究平臺；突破現有材料生長、器件工藝、測試分析的功能極限。

      納米真空互聯綜合實驗站將圍繞當前納米科學研究領域三個重大關鍵問題：納米材料和納米器件的規(guī)模可控制備；納米材料與器件尺度效應、維度效應和界面效應；高分辨率、多參量聯合在線測試技術等，展開科研建設。在互聯裝備中，重點解決真空獲得、樣品架的傳遞和轉移以及圖形生成等三個工程技術問題。根據平臺屬性，實驗站還將提供不同級別真空系統(tǒng)的用戶站點。

      與會專家認為，“納米真空互聯綜合實驗站”這類大型基礎科學設施提供的研究平臺，將在多個領域起到前所未有的重要作用。例如，為了解決全球性氣候變化，國家戰(zhàn)略性能源短缺，及城市環(huán)境污染等關鍵問題，高效率能量轉換與能量存儲技術必將成為未來幾十年科學界的研究重點，而要實現能量轉換及存儲效率上的突破，新材料的探索及其納米尺度的結構與界面的控制至關重要。而可以實現可控的材料制備，納米加工與封裝，以及在各種極端條件下的材料測試和表征的大科學裝置，將為這一領域研究提供無可比擬的重要平臺。