安捷倫科技有限公司宣布，該公司對外推出一款波形發(fā)生器/快速測量單元(WGFMU)，用于其B1500A半導體設備分析儀。這種分析儀能執(zhí)行高速測量所需求的性能，及快速表征負偏壓溫度不穩(wěn)定性(NBTI)及其它諸如脈沖制的IV、RTS和新型非揮發(fā)性抗干擾的內存像 PRAM/ReRAM等方面的應用。

       此次推出的安捷倫B1530A WGFMU產品在設計上，是針對研究員和可靠性研究的工程師的應用而言。安捷倫B1530A WGFMU是第一款自備齊全的模塊，它用于提供隨機線性波發(fā)生器(ALWG)與電流或電壓同步的快速測量，速度快達5ns，使其能夠提供高速IV特性。該性能解決了超高速負偏壓溫度不穩(wěn)定性的特性和大量擺在工程師和科學家們面前的下一代半導體設備的其它應用問題。

       另外，作為半導體元器件幾何尺寸收縮起來能低于65nm，由于是新材料、新結構和更高IC操作溫度，使設備可靠性變得非常重要。在負偏壓和高溫情況下，負偏壓溫度不穩(wěn)定性尤其引起重大的閾值電壓漂移，使其成為關系高級半導體過程非常重要的可靠性因素之一。許多負偏壓溫度不穩(wěn)定性研究表明，測量的閾值電壓漂移取決于壓和時間。因此，工程師們必須盡可能快的估測晶體管的特性。此外，由于壓力的類型也會影響閾值電壓降級和設備的實時估計，測量都不僅需要在直流壓力之后，還要求在各種交流壓力后進行。