近日，2019年上海領(lǐng)軍人才培養(yǎng)計劃入選名單正式公布，上海市計測院學(xué)科帶頭人傅云霞同志入選！

人物事跡

傅云霞深耕幾何量計量30余年，在精密幾何量誤差理論和分析領(lǐng)域具有深厚造詣，現(xiàn)任上海市計測院機械制造所所長。

近年來，在傅云霞同志的帶領(lǐng)下，精密幾何量團隊圍繞集成電路、飛機制造產(chǎn)業(yè)等上?？苿?chuàng)中心建設(shè)的重點發(fā)展方向不斷開展深入研究，聚焦半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)微型化器件特征尺寸的納米計量需求，重點開展了微納米聯(lián)動定位運動技術(shù)、接觸與非接觸納米零點定位傳感技術(shù)以及納米標準樣板的研發(fā)工作。傅云霞同志作為主要技術(shù)專家，傾力于國家重大儀器開發(fā)專項“跨尺度微納米測量儀的開發(fā)和應(yīng)用”項目，組織研制了多個型號納米測量儀和具有多個幾何標準尺寸的納米標準樣板，填補了國內(nèi)多項納米計量技術(shù)的空白。2019年，上海市計測院與中國商飛公司共同建立了民用飛機智慧測量技術(shù)聯(lián)合實驗室，傅云霞同志帶領(lǐng)大尺寸幾何量團隊開展大尺寸測量系統(tǒng)多參數(shù)綜合校準技術(shù)研究和面向飛機制造的大尺寸測量仿真及優(yōu)化技術(shù)研究，大大提升了我國民用飛機大尺寸計量測試技術(shù)水平。2020年起實施的國家重點研發(fā)計劃“硅基MEMS高深寬比三維結(jié)構(gòu)的干涉顯微無損測量技術(shù)”項目中，傅云霞同志作為二級課題負責(zé)人，帶領(lǐng)課題組研發(fā)高深寬比的硅基MEMS結(jié)構(gòu)測量技術(shù)，解決了半導(dǎo)體、精密加工領(lǐng)域中硅基MEMS高深寬比結(jié)構(gòu)快速無損測量的迫切需求，推動我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)硅基MEMS器件的制備工藝水平。近年來，傅云霞同志發(fā)表論文二十余篇，獲得省部級獎勵5項，取得發(fā)明專利授權(quán)11項。作為專業(yè)技術(shù)帶頭人，成功組建2個局級科技創(chuàng)新團隊。作為院博士后工作站指導(dǎo)老師，先后培養(yǎng)4名博士后。作為上海交大、上海理工和中國計量大學(xué)聯(lián)合培養(yǎng)帶教老師，指導(dǎo)博士1名、碩士10余名。

傅云霞是上海市計測院繼邵力、鄒子英之后，第三位高層次專家獲得此項殊榮。上海市計測院將持續(xù)深化對領(lǐng)軍人才的培養(yǎng)，充分發(fā)揮領(lǐng)軍人物的引領(lǐng)作用，為更好地服務(wù)上?？苿?chuàng)中心建設(shè)提供計量技術(shù)支撐和人才保證。